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解決方案

測試解決方案-傳感器實驗室

發布時間:2021-04-28    瀏覽次數:1208


傳感技術聯合國家重點實驗室成立于1987年。實驗室面向國家重大需求、國民經濟主戰場和世界科技前沿,將基礎微電子和微機械加工技術的傳感器與微系統作為主要研究方向,開展基礎性、戰略性、前瞻性的研究工作。實驗室長期致力于提高我國傳感技術的自主創新能力和國際競爭力,推動我國傳感技術應用和產業的發展,為國民經濟建設服務,并成為我國傳感技術的研究基地和高素質、高水平傳感技術人才的培養基地。 

傳感技術聯合國家重點實驗室(北方基地)依托于中國科學院電子學研究所,具有電子學、化學、材料科學、信息技術、生物技術、納米技術等多學科交叉的綜合優勢,建立起一個以MEMS技術和器件為基礎的綜合研發平臺,研制出電場傳感器、諧振式壓力傳感器、氣象傳感器、電化學地震檢波器、光纖聲傳感器等高性能物理量傳感器;在氣體傳感器、水環境監測微傳感器等化學量傳感器和神經信息檢測、低成本便攜式生化快速檢測等生物量傳感器方面取得重大進展,獲得國家發明二等獎;在SPR 生化分析儀、離子遷移譜儀、微型氣相色譜儀、集成光表界面原位分析儀、可穿戴式健康監護設備等儀器儀表系統方面突破多項關鍵技術,實現了多項技術轉讓;在加工工藝、敏感材料、信息處理、系統集成、傳感器測試等方面積累了豐富的工作經驗和人才資源。 

實驗室現有面積4400平方米,包括1000平米凈化室,室內擁有一條完整的微電子機械系統(MEMS)加工工藝線,能夠進行雙面光刻、各向同性及異性腐蝕、反應離子深刻蝕、Si-Si鍵合、 Si-玻璃鍵合、準LIGA加工、PDMS“鑄造”微器件、真空封裝等。凈化室內還擁有PECVD、LPCVD、射頻濺射、電子束蒸發等大型鍍膜裝置、以及高溫擴散爐、退火爐,激光劃片機、激光修阻儀、金絲球壓焊機、可編程拋光機、半導體參數測試儀、臺階儀、應力測試儀等。實驗室于2012年還新進一批薄膜表征設備,包括:掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)、全內反熒光顯微鏡(TIRF)、寬光譜橢圓偏振儀、共聚焦顯微鏡、拉曼光譜儀等;谶@些先進的儀器設備,實驗室不僅能夠滿足內部人員的日?蒲泄ぷ,還對外承接器件加工、封裝、測試等業務。 

 
 
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